鳳凰灣電子信息產(chǎn)業(yè)園位于江蘇省徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，是徐州市重點(diǎn)打造的集成電路及ICT產(chǎn)業(yè)特色園區(qū)。園區(qū)總建筑面積約36萬平方米，重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體材料、集成電路設(shè)備、第三代半導(dǎo)體材料器件、集成電路封測及制造等產(chǎn)業(yè)。
 

　　半導(dǎo)體制造對超純水水質(zhì)要求極為嚴(yán)苛，總有機(jī)碳(TOC)是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染物之一。隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小，對超純水中TOC值的要求越來越高。北京安力斯環(huán)境科技股份有限公司為鳳凰灣電子信息產(chǎn)業(yè)園提供了配套的超純水TOC降解系統(tǒng)，保障園區(qū)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)用水需求。
 

圖1：鳳凰灣電子信息產(chǎn)業(yè)園
 

　　二、技術(shù)方案
 

　　安力斯為該項(xiàng)目提供了EX-UPW-TOC系列超純水TOC降解系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用185nm雙波段紫外技術(shù)，通過高能量紫外光激發(fā)水分子產(chǎn)生羥基自由基(·OH)，利用其強(qiáng)氧化性將水中的有機(jī)物分解為二氧化碳和水，實(shí)現(xiàn)TOC的高效降解。
 

　　該系統(tǒng)核心特點(diǎn)包括：高強(qiáng)度185nm紫外燈管：雙波段(185/254nm)輸出，185nm波段透光率達(dá)80%以上，確保高效的TOC降解效果。高精度UV強(qiáng)度傳感器：分辨率達(dá)0.01mW/cm²，實(shí)時(shí)監(jiān)測紫外劑量，確保出水水質(zhì)穩(wěn)定。智能控制系統(tǒng)：支持本地/遠(yuǎn)程控制，可連接SCADA系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)智能化運(yùn)維管理。高品質(zhì)材料：采用316L不銹鋼反應(yīng)器，內(nèi)外電解拋光處理，表面光潔度達(dá)Ra0.2以上，滿足超純水系統(tǒng)的潔凈要求。
 

圖2：TOC降解系統(tǒng)運(yùn)行現(xiàn)場
 

　　設(shè)備處理能力覆蓋2~60m³/h，可使超純水TOC穩(wěn)定降至1ppb以下，滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
 

　　三、運(yùn)行效果與意義
 

　　項(xiàng)目投運(yùn)后，超純水系統(tǒng)出水TOC穩(wěn)定控制在1ppb以下，可滿足半導(dǎo)體制造工藝對超純水水質(zhì)的嚴(yán)苛要求。系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定可靠，維護(hù)周期長，有效降低了園區(qū)企業(yè)的生產(chǎn)運(yùn)營成本。
 

圖3：安力斯TOC降解設(shè)備
 

　　該項(xiàng)目的成功實(shí)施，為鳳凰灣電子信息產(chǎn)業(yè)園內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)提供了高品質(zhì)的超純水保障，助力園區(qū)打造長三角優(yōu)質(zhì)集成電路及ICT產(chǎn)業(yè)集群。項(xiàng)目也充分展示了安力斯在微電子行業(yè)超純水處理領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力和工程應(yīng)用能力，為后續(xù)同類項(xiàng)目積累了寶貴經(jīng)驗(yàn)。